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鋁鎂合金退火爐發(fā)布日期：2015-12-1 8:54:34 所屬分類：其他工業(yè)爐 訪問統(tǒng)計(jì)：4402  鋁鎂合金退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。 退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由Z門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是JN型周期式作業(yè)爐，超JN結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。 |
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